求一篇RFIC 2013 文献: A Sticking-Free and High-Quality Factor MEMS Variable Capacitor with Metal-Insul.pdf

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求一篇RFIC 2013 文献:

本人现在需要一篇RFIC 2013上面的一篇文献，由于会议刚刚结束，估计要等一段时间网上才能下载，现在想向有此文献的的同志求助。
文献为

“A Sticking-Free and High-Quality Factor MEMS Variable Capacitor with Metal-Insulator-Metal Dots as Dielectric Layer”

求一篇RFIC 2013 文献: A Sticking-Free and High-Quality Factor MEMS Variable Capacitor with Metal-Insul.pdf

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