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头雁微网 附件中心 专业技术 微波工程 Novel Cu–Cu Bonding Technique.pdf
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Novel Cu–Cu Bonding Technique.pdf

 

新颖的Cu-Cu键合技术:插入键合法:
Abstract—A novel low-temperature Cu–Cu bonding approach
called the insertion bonding technique has been developed. This
technique hinges on the introduction of a tangential pressure at
the metal–metal interface, which leads to a high localized plastic
deformation that is essential for bond formation.
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