应用于无处不在的无线连接之中的射频微机电技术(一).pdf

微机电技术（MEMS ： micro-electro-mechanical system）在射频/微波系统中的应用正在对无线通讯产生着革命性的作用[1]。事实上，射频微机电技术可以用来制造性能优异的无源器件，如开关，可切换电容器（2个状态），可变电容（变容器），电感，传输线及谐振器，使其成为生产众多可用于家庭，移动通讯，太空应用[2]如手提式无线系统，基站，卫星系统中射频器件的首选技术。这些系统的精华在于低功耗及其可重置性。因此，射频微机电将成为无处不在的无线连接系统的一个关键技术。在这个前提下，本文旨在阐述用微机电技术制造的可切换电容，变容器，开关在手提式无线系统，基站，卫星这三类系统中的应用所产生的影响及目前的发展现状。本文着重在系统层次上讨论了微机电技术应用的背景，器件要求，规模生产，封装，性能现状及可靠性等方面的问题。

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