自适应压电式移相器的研究.pdf

摘要： 移相器是移相干涉仪中的重要部件， 压电式移相器由于分辨力高、 响应快 、 控制容易而被大量采用。但压
电陶瓷的非线性误差与位移量小， 一直影响其应用范围的扩大。针对该问题 ， 从压电式移相器机构与扩展方法人
手 ， 设计 了具有放大特性 的柔性铰链式移相器 。采用单神经元 ( P r o p o r t i o n a l   s u m  d e r i v a t i v e ， P S D) 控制算法 ， 实现微
驱动定位的自适应实时控制， 改善了非线性， 降低了环境干扰的影响， 提高了压电式移相器的性能。所设计的压电
式移相器用 3组压电陶瓷堆驱动 ， 可用 于 4 , 1 o o   mm孔 径镜 片 ， 位移行程达 3 0  m 以上。实验验 证该方法有效 ， 控制
精度达 0 ． O 1  m。  
关键词 ：   光学测量 ；压 电陶瓷 ；移相器 ；自适应控制 ；柔性铰链