移相器类进动现象对干涉测量的影响:摘要 压电晶体( P Z T) 光学移相器作为移相干涉仪 ( P S I ) 的关键部件 , 其移相误差直接影响被测波面的相位复原
精度。分析了压电晶体移相器在移相过程中导致干涉图旋转的原因——类进动, 其本质是移相器在伸长的同时其
参考镜端面法线方向绕着伸长方向产生旋转。利用典型的 Ha r i h a r a n五步移相算法。 得出了类进动现象所导致的
波面相位复原误差计算公式, 给出了在测试孔径上的误差分布图。对影响误差大小的主要因素如干涉条纹的宽
度、 旋转的角度和测试口径等进行了具体分析, 由此推导出在移相干涉仪光学调整过程中控制干涉图旋转误差的
准 则。
关键词 光学技术与仪器; 干涉测量; 移相干涉仪 ; 移相器; 类进动; 误差