移相干涉技术中移相器的自校正方法.pdf

摘 要 移相干涉技术( P S I ) 是 8 ． 0年代兴起的一门干涉图形 自动识别技术，移相器作为移相干涉
技术的关键部件其移相误差将直接影响到移相干涉技术的干涉图的识别精度。 本文提出了一种移
相器的自校正方法，即利用移相干涉仪的自身系统，通过快速傅里叶方法 ， 对移相器进行逐步逼
近校正 结合移相式红外干涉仪的研制，给出了一组移相器的自动校正的实验 ， 实验表明， 校正
后的移相器的非线性误差可由原来的 5  降低到 0 · 2   。