一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构:摘要 ：提 出了一种基 于微机械 工艺的新 型复合 微桥 膜结 构 ， 由低应 力 S i N／ S i Oz ( 0 。 5 ~ m／ 5 0 n m) 及
Cr ／ Au ( 3 0 n m／ 1 u m) 构成 。相应 的工 艺流程 较 为 简单。对影 响其 特性 的 因素进 行 了理 论 分析 ， 并
提 出了 3种桥 膜的平 面结构 ； 利 用静 电／ 力耦合有 限元 法分 析 了各种结构 的静 电驱动特性 以及各 阶
模 态， 结果得 到 了令 人满意的驱动和机械性 能 ； 通过有 限元 高频仿真软件 对桥 膜结构与共 面波导形
成的可调 电容 结构进 行 了分析 ， 结果表 明其具 有 良好 的射 频／ 微 波性 能 。该 桥 膜 结构 适 用 于 RF
MEMS开关 、 移相 器及 开关式可调 电容和滤 波器等 。
关键词 ：射频 ；微 波 ；微 电子机械 系统 ；复合膜 ；微桥结 构 ；开关 ；可调 电容 ；移相 器 ’
[hide]
[/hide]
我正在找移相器的资料啊
happy new year ,thank you
看看！！！！！！！！！！！！！！！！！！！
看看先，楼主辛苦了:11bb :27bb
正在搞这方面的研究，下来看看:11bb :11bb
谢谢楼主分享 了。
学习学习，感谢感谢
{:4_195:}
{:soso_e179:}
啊撒旦发生的发生电风扇地方
下来看看
一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构.pdf
