一个DC-32GHz两位微机械移相器.pdf

Ab s t r a c t ：A  t wo   b i t  p h a s e   s h i f t e r   wi t h   d i s t r i b u t e d   mi c r o e l e c t r o me c h a n i c a l   s y s t e m ( M EMS)t r a n s mi s s i o n   l i n e  
( DMTL)i s   d e v e l o p e d， a n d   a   n o v e l   s t r u c t u r e   wh i c h   b e   a c t u a t e d   b y   c o p l a n a r   wa v e g u i d e   t r a n s mi s s i o n   l i n e( CPW— a c  
t ua t i on   s t r uc t ur e)i s   pr opo s e d， whi c h   c an   r e du c e   t h e   a c t u at i on   vo l t a ge   s i gni f i c ant l y ．The   me a su r e d   r e s uh· wi t h   ae t u  
a t i o n   v o l t a g e   1 e s s   t h a n   2 0 V， 0 o ／ 2 0 ． 1 。 ／ 4 1 ． 9 。 ／ 6 8 ． 2 。p h a s e   s h i f t   a n d 一 1 ． 2 d B  i n s e r t   l O S S   a t   2 0 GHz ． i s   d e mo n s t r a t e d，  
a n d   i n s e r t i o n   l O S S ／ r e t u r n   l o s s   i s   b e t t e r   t h a n   1 ． 8 d B／ 一 1 1 d B   f r o m  DC   t o   3 2 GHz ． Th e   e x p e r i me n t a l   r e s u l t s   h i g h  
l i ght   t he   pot e nt i a l   of   a  l ow— l o s s   an d   br o a dba nd   di gi t a l   M EMS  pha s e   s hi f t e r   on  a  hi gh   pe r mi t t i vi t y   s ubs t r at e ．