压电陶瓷微位移机械装置的研究.pdf

【 摘要】 参考反射镜的位移标定， 在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度 ．根据移相干涉的
要求和压电陶瓷的特点， 设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置， 通过实验测量出其微位移量
表明， 设计的装置使反射镜移相的非线性为 1 ． 7 3 ％。  
关键词 移相法 ； 干涉仪 ； 微位移装置

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