开关线型四位数字MEMS移相器.pdf

摘要 ： 介绍 了一种基 于射频微机 械串联开关 设计 的开关线 型四位数字微 机电系统 ( Mi c r o — e l e c t r o me c h a n i c a l  
S y s t e ms以下 简称 MEMS) 移相器 。 该移 相器集成 了 1 6个 RF   MEMS开关 ， 使用 了 1 3组 四分之一波长传输线 和
MI M 接地 耦合 电容 ， 有效地使开关 的驱动信 号和微波信 号隔离 ， 串联 容性开关 设计有效 地降低 了开关 的启动 电
压 。使用低温 表面微机械工艺在 3 6 0  m 厚的高 阻硅衬底上制作移相 器 ， 芯片 尺寸 4 ． 8   mm×7 ． 8   mm。移相器样
品在 片测 试 结 果表 明 ， 频 点 1 O ． 1   GHz ， 2 2 ． 5 。 相移 位 的相 移 误差 为 土0 ．4 。 ， 插 损 2 ． 8   d B； 4 5 。 位 的相 移误 差 为
土1 ． r， 插 损 2 ． 0   d B； 在 x波 段 ， 对 1 6个相 移态 的测 试结 果表 明 ， 移 相器 的插入 损耗 小于 4 ． 0   d B， 驻 波 比小于
2 ． 4 ， 开关驱 动电压为 1 7 ～2 O   V。  

[hide]

[/hide]

[m:11] [m:11] [m:11] [m:11]

thank you very much

kankankanaknakankankankanakna

kankankanaknakankankankanakna

谢谢~~~~~~~~~~~~~~~~~

谢谢楼主了，看看，MEMS的可不是那么好作

看看，学习下:31bb

:crackle.GIF 感谢!

好贴。。。。。。。。。。。。。。

MEMS的还没看过呢。

楼主好人啊

谢谢斑竹分享了。

谢谢楼主！看一下！

下载看看啊

zixilaikankano

查来看一下。。。希望有意义啊。

刚好开始研究MEMS

支持，最近在研究这个，谢谢楼主

thank you very much

看看

不错

认真学习，感谢楼主！

知识浅薄  前来学习   看帖必回

木有啊  什么都木有啊

移 相器 的插入 损耗 小于 4 ． 0   d B

要看看

thanks

夏天就是不好，穷的时候我连西北风都没得喝。。。。。。

君子以自强不息 地势坤 君子以厚德载物

谢谢分享相当不错

{:7_1234:}

thanks

好资料

感谢分享

看看，学习学习!!!

xiexie kankan

kankan

谢谢楼主   正在学习

:46bb:48bb:49bb

看看是什么东西，最近正研究

学习学习楼主

kankanxian{:soso_e104:}

撒旦发生的发生电风扇地方

是否撒旦发所发生的方式撒旦发

学习下

正在学习这些

请问有仿真的项目吗？

谢谢楼主分享，看一看

点点滴滴