硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型.part4.rar

【原 书 名】 Silicon VLSI Technology： Fundamentals，Practice

【原出版社】 Pearson

【作　　者】（美）James D.Plummer Michael D.Deal Peter B.Griffin [同作者作品]

【丛 书 名】 国外电子与通信教材系列

【出 版 社】 电子工业出版社     【书 号】 7505386387

【出版日期】 2003 年4月 【开 本】 16开 【页 码】 818     【版 次】1-1

【所属分类】

工业技术 > 电工技术 > 电路 > 集成电路 教材 > 研究生/本科/专科教材 > 工学 > 电工电子

内容简介《硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型》是美国斯坦福大学电气工程系“硅超大规模集成电路制造工艺”课程所使用的教材，该课程是为电气工程系微电子学专业的四年级本科生及一年级研究生开设的一门专业课。《硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型》最大的特点是，不仅详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且还着得讲解了这些工艺技术背后的科学工艺过程的物理图像。同时全书还对每一步单项工艺技术所要用到的测量方法后面都附有相关内容的参考文献，同时还附有大量习题。
对于我国高等院校微电子学专业的教师及学生，《硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型》是一本不可多得的优秀教材和教学参考书，并可供相关领域的工程技术人员学习参考。
作者简介James D.Plummer：于美国斯坦福大学获得电气工程博士学位。目前是斯坦福大学电气工程系教授。Plummer博士已撰写或与人合作撰写了300多篇技术论文，并于1991年获得了电化学协会颁发的“固态科学与技术奖”。1996年，他被选入美国国家工程院。目前致力于硅设备与技术方面的研究。
编辑推荐《硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型》是美国斯坦福大学电气工程系“硅超大规模集成电路制造工艺”课程所使用的教材，该课程是为电气工程系微电子学专业的四年级本科生及一年级研究生开设的一门专业课。《硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型》最大的特点是，不仅详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术，而且还着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理。特别是对于每一步单项工艺技术，书中都通过工艺模型和工艺模拟软件，非常形象直观地给出了实际工艺过程的物理图像。同时全书还对每一步单项工艺技术所要用到的测量方法做了详细的介绍，对于工艺技术与工艺模型的未来发展趋势也做了必要的分析讨论。另外，《硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型》每一章后面都附有相关内容的参考文献，同时还附有大量习题。

[目录]   
第1章 引言及历史展望
第2章 现代CMOS工艺技术
第3章 晶体生长、晶圆片制造及硅晶圆片的基本特性
第4章 半导体生产——洁净室、晶圆片清洗与吸杂
第5章 光刻
第6章 热氧化主硅/二氧化硅界面
第7章 杂质扩散
第8章 离子注入
第9章 薄膜淀积
第10章 刻蚀
第11章 后道工艺技术
附录
索引

硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型.part1

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[ 本帖最后由 drjiachen 于 2008-12-4 11:31 编辑 ]

硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型.part2-5

[ 本帖最后由 drjiachen 于 2008-12-4 11:33 编辑 ]

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不懂，不过很感谢楼主的无私分享了，，，，

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正需要学习光通信方面的东西，谢谢楼主！

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硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型 确实是一本好书，谢谢啊

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感谢楼主分享，:27bb :27bb

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硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型 确实是一本好书，谢谢啊

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谢谢，有中文版吗

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一直在找这方面的资料。收下了。xie xie

不过很感谢楼主的无私分享了，，，，

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standford出的好書
多謝啦^^
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回复 lbrobert2001 的帖子


    超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型

找这本书找了好久了,谢谢分享啊

非常感谢啊,再支持下

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真是亘古未有的好资料啊！！！

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回复 drjiachen 的帖子

谢谢 LZ 的无私分享

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谢谢拉

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谢谢分享资料了

回复 drjiachen 的帖子

和我见过你河谷生公说法

谢谢楼主分享

好书，谢谢楼主

这本书没有看过。学习一下。

谢谢谢谢西斜！

好书啊~~~~真是好书啊~~~~

哈哈哈哈

lz辛苦了，找这个好久了

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相当不错相当不错

硅超大规模集成电路工艺技术

看看这个是什么意思

硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型

硅超大规模集成电路工艺技术--理论实践与模型，好

发挥的回趟家基因库老佛爷可看大图距离

谢谢楼主，好书

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