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日志

分享陶瓷薄膜电路: 2011-2-15 11:48; 采用半导体制作工艺，通过磁控溅射，图形化光刻，干法湿法蚀刻，电镀加厚等工艺，在陶瓷基板上(氧化铝，氮化铝，氧化铍等）制作超细线条电路图形，同时在基板上集成电阻器，完成一定的电路功能。此种工艺的优点如下：细线条（最小线宽和 ...; 个人分类: 薄膜电路|531 次阅读|2 个评论热度 3

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